AR-60微蚀剂
AR-60 是一种铜面微蚀添加剂，适用于印制电路制作 过程中光致抗蚀剂或阻焊前处理，能有效粗化铜面，增强 抗光致抗蚀剂或阻焊与铜层的结合力。
AR-60 微蚀添加剂能使铜面产生特定的微观粗糙结 构，并在铜面形成具有一定抗氧化能力的皮膜，从而增加 铜层与铜表面光致抗蚀剂或阻焊等材料的结合力，特别适 合光致抗蚀剂或阻焊的前处理。
特点：
更高的铜面与光致抗蚀剂或阻焊结合力；
铜微蚀量低；
铜离子容忍度高；
常规污水处理方式；
操作范围较宽，药水管控简单。
1. 设备要求及建议
设备项目 | 要求及建议 |
槽体设计 | 水平传动，喷淋式设计 |
槽体材料 | 聚乙烯，聚氯乙烯，聚丙稀 |
金属部件 | 316 不锈钢 |
加热、冷却器材料 | 石英，聚四氟乙烯 |
过滤、循环系统 | 10 微米的滤芯或滤袋 |
排气系统 | 聚乙烯，聚丙烯，聚氯乙烯；100-500CFM 抽风量 |
2. 配槽
槽液组分（按 100 升配制） | 添加量 L | 比重(g/cm3) |
AR-60 铜面微蚀剂 | 5 | 1.03±0.05 |
50%硫酸 | 8 | 1.395 |
50%双氧水（35%双氧水） | 3（4.5） | 1. 195（1. 132） |
配槽步骤：
加入 CW 水，喷淋循环清洗半小时以上，排走；
加入 5%NaOH 溶液，喷淋循环清洗一小时以上，排走；
加入 CW 水，喷淋循环清洗半小时以上，排走；
加入 5%硫酸溶液，喷淋循环清洗半小时以上，排走；
加入纯水，喷淋循环清洗半小时以上，排走，重复至电导率＜10μS/cm；
加入纯水至 2/3 工作体积，按照 8%体积比加入 50%的硫酸，按照 3%体积比加入 50%的双氧水；
按 3%体积比加入 AR-60 铜面微蚀剂；
加纯水至标准液位；
3. 操作参数
铜面微蚀剂 AR-60 的控制参数：
操作参数 | 操作范围 | 最佳值 |
AR-60 | 40-60ml/L | 50ml/L |
50%硫酸 | 50- 100ml/L | 80ml/L |
50%双氧水 | 15-40ml/L | 30ml/L |
温度(℃) | 25-35 | 30 |
铜离子（g/L） | ＜50 | / |
接触时间（sec） | 40-90 | 60 |
4. 流程控制与维护
AR-60 铜面微蚀剂使用时，根据硫酸或双氧水补充量按照一定比例添加调整，50%双氧水与铜面微蚀剂的 补充比例为 1:1（体积比），配备稳态运行的系统可使用硫酸、双氧水与铜面微蚀剂按照一定比例调配成 补充液，参考比例(（体积比）为，50%硫酸:50%双氧水:AR-60= 15:5:5（即 50%硫酸开 15%v/v 、50%双氧 水开 5%v/v，AR-60 开 5%v/v 作为补充液）。以上补充液在微蚀量 0.5μm/min 的情况下， 自动添加设定参 考值为 1 ㎡做板量补充 200~300ml.
对 于 手 动 补 充 药 水 的 生产 线 ， 硫 酸 ， 双 氧 水和 AR-60 的 补 充 比例仍 可按 照 50% 硫 酸 :50% 双 氧 水:AR-60= 15:5:5 的比例补充，即每补充 1L 质量浓度为 50%的双氧水，同时补充 1LAR-60 微蚀剂和 3L 质 量浓度为 50%的硫酸。
注意：本产品在配制及使用过程的任何环节，禁止氯离子混入，氯离子混入会导致微蚀速率大幅下降。
5. 产品特性及储存条件
铜面微蚀剂 AR-60：
比 重： 1.03±0.05 g/ml
外 观： 无色至淡黄色透明液体
储存条件： 储存于阴凉地方，避免阳光直接照射；存放在密闭容器中；必须远离任何碱性、易燃性、易 氧化性物质。
6. 安全指引
避免直接接触此化学品；操作时需要保护衣物及戴上化学手套、安全眼镜等。
勿吸入其蒸气。
被污染的衣物重新使用前需要清洗干净。
在使用或需要接触到此化学品前，请仔细阅读相关的《化学品安全技术说明书》（Material Safety Data Sheet， MSDS）。相关资料请向东莞秀博电子材料有限公司技术人员索取。
7. 分析方法
7.1 Cu2+含量
分析试剂：
. pH= 10 缓冲液
. 0. 1M-EDTA 标准溶液
. 0. 1%PAN 指示剂
分析步骤：
. 准确移取 1 毫升的样品至洁净的 250ml 锥形瓶中；
. 加入约 50- 100ml 去离子水，20ml pH= 10 缓冲液，加 3-5 滴 PAN 指示剂；
. 以 0. 1M-EDTA 标准溶液滴定上述溶液，当溶液颜色由深蓝色变成浅绿色为终点，记录滴定体积 V ml。
计算方法：
. Cu2+（g/L）= V×6.354
7.2 50%硫酸含量
分析试剂：
. 0. 1M-NaOH 标准溶液
. 0. 1%甲基橙指示剂
分析步骤：
. 准确移取 1 毫升的样品至洁净的 250ml 锥形瓶中；
. 加入约 50- 100ml 去离子水，加 3-5 滴甲基橙指示剂；
. 以 0. 1M-NaOH 标准溶液滴定上述溶液，当溶液颜色由红色变成黄色为终点，记录滴定体积 V ml。
计算方法：
. 50%H2SO4（ml/L）= V×7
7.3 50%双氧水含量
分析试剂：
. 0. 1N-KMnO4 标准溶液
. 50%硫酸溶液
分析步骤：
. 准确移取 1 毫升的样品至洁净的 250ml 锥形瓶中；
. 加入约 50- 100ml 去离子水，加 10ml 50%硫酸溶液；
. 以 0. 1N-KMnO4 标准溶液滴定上述溶液，当溶液颜色由无色变成粉红色为终点，记录滴定体积 V ml。
计算方法：
. 50%H2O2（ml/L）= V×2.862
